EX3自動橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）測量原理，針對納米薄膜厚度測量領(lǐng)域推出的一款自動測量型教學儀器。與EM22儀器相比，該儀器采用半導體激光器作為光源，穩(wěn)定性好，體積更小。

EX3儀器適用于納米薄膜的厚度測量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時測量。

EX3儀器還可用于同時測量塊狀材料（如，金屬、半導體、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。

特點:

經(jīng)典消光法橢偏測量原理

儀器采用消光法橢偏測量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。

方便安全的樣品水平放置方式

采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放。

緊湊的一體化結(jié)構(gòu)

集成一體化設(shè)計，簡潔的儀器外形通過USB接口與計算機相連，方便儀器使用。

高穩(wěn)定性光源

采用半導體激光器作為探測光的光源，穩(wěn)定性高，噪聲低。

豐富實用的樣品測量功能

可測量納米薄膜的膜厚和折射率、塊狀材料的復折射率等。

便捷的自動化操作

儀器軟件可自動完成樣品測量，并可進行方便的測量數(shù)據(jù)分析、儀器校準等操作。

安全的用戶使用權(quán)限管理

軟件中設(shè)置了用戶使用權(quán)限（包括：管理員、操作者等模式），便于儀器管理和使用。

可擴展的儀器功能

利用本儀器，可通過適當擴展，完成多項偏振測量實驗，如馬呂斯定律實驗、旋光測量實、旋光等。

應(yīng)用領(lǐng)域:

EX3適合于教學中單層納米薄膜的薄膜厚度測量，也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。

EX3可測量的樣品涉及微電子、半導體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學薄膜、生命科學、化學、電化學、磁質(zhì)存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域。

技術(shù)指標: